最小檢知量

SO₂+SOF₂、H₂S、HF

≤0.1μL/L

CO/H₂

≤0.5μL/L

純度

≤0.03%（V/V)

露點(diǎn):阻容

≤0.1℃

精度

SO₂+SOF₂、H₂S、HF

測量值≤10μL/L時,誤差≤±0.5μL/L

測量值＞10μL/L時,誤差≤±5%

CO/H₂

測量值≤50μL/L時,誤差≤±2.0μL/L

測量值＞50μL/L時,誤差≤±4%

純度

≤±0.1 %(W/W)

阻容/鏡面

≤±1℃/±0.3℃

重 復(fù) 性

SO₂+SOF₂ 、H₂S、HF

測量值≤10μL/L時,≤0.2μL/L

10μL/L～100μL/L時：≤2%

CO/H₂

測量值≤50μL/L時,≤1.5μL/L

檢測值在50μL/L～1000μL/L時：≤3%

純度

≤0.05%(W/W)

阻容/鏡面

＜1%（RSD）

量  程

SO₂+SOF₂

0～100μL/L,0～2000μL/L

H₂S

0～100μL/L

HF

0～20μL/L

CO/H₂

0～1000μL/L

純度

0～100%

阻容/鏡面

-80℃～+20℃/-60℃～+20℃@30℃